随机过程变化对基本光子集成电路元件传输特性的影响
2018年9月14日
理解体积FinFET器件性能变异性的影响
2018年4月27日白皮书:N7 FinFET自对准四重模式建模
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在本文中，我们利用Coventor SEMulator3D虚拟平台，在一个流程仿真的基础上，建立了翅节行走模型。模型中引入了翅片芯的锥度角，与硅数据吻合较好。评估了对各种自对齐四重模式过程步骤的影响。蚀刻灵敏度的图案密度复制在模型中，并提供了对鳍高度变异性的影响的见解。
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