白皮书:提高3D NAND闪存密度的创新解决方案

在过去的10年里，3D NAND闪存使新一代非易失性固态存储成为可能，几乎可以在所有可以想象到的电子设备中都能使用。3D NAND可以实现超过2D NAND结构的数据密度，这是由于相对容易的3D集成，即使在下一代技术节点上制作。三维NAND结构包含垂直通道，垂直穿透交错堆叠的导体/绝缘体结构。字行通过楼梯状的结构单独访问。本白皮书将讨论3D NAND结构的工作原理和制造工艺挑战，以及提高3D NAND器件数据密度的技术。