白皮书:虚拟制造和先进过程控制提高了16纳米半节距SAQP工艺评估的良率

本文利用虚拟制造技术对imec 7 nm节点(iN7)自对准四重图形(SAQP)集成方案进行了评估，以实现16 nm半间距金属2线形成。我们首先提出了利用SAQP获得无缺陷M2生产线的技术挑战，然后提出了利用先进过程控制和虚拟制造相结合实现<1%故障率的解决方案。

COPYRIGHT©2019光电仪器工程师协会(SPIE)。下载摘要只供个人使用。

Benjamin Vincent, S. Lariviere, C. Wilson, R. H. Kim, and J. Ervin“虚拟制造和先进工艺控制提高了16纳米半节径SAQP工艺评估的成本率”，Proc. SPIE 10963, advanced Etch Technology for nanopatatning VIII, 109630Q(2019年3月20日);doi: 10.1117/12.2518099;

https://doi.org/10.1117/12.2518099