白皮书:在3D CMOS图像传感器光学建模的进展:结合现实形态与FDTD

本文介绍了一种研究器件形貌与CMOS图像传感器光学性能关系的新方法。通过耦合基于fdtd的3D Maxwell求解器和硅精确过程建模软件，我们已经能够分析图像传感器量子效率的灵敏度与纳米尺度器件拓扑的统计变化。

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