白皮书:作为未来系统缩放旋钮的背面电力交付

标准单元格轨迹高度缩放在标准单元库级别为我们提供了足够的面积缩放。这种技术的效率和这种缩放方法所涉及的复杂性已被详细讨论[1,2]。然而，当我们考虑到将片上电网纳入DTCO探索环路的复杂性时，标准单元轨道高度缩放的面积效益就会减少。我们之前概述了几种布局技术，以提高这种缩放技术的利用密度[2,4]。然而，所提出的技术只是将电网对设计的影响降到最低。在本文中，我们讨论了将3D - μTSV技术与逻辑技术相结合的必要性，以实现电网与设计预算的解耦。该技术采用如图4所示的工艺步骤，从薄化器件晶圆的背面提供电力。我们的分析表明，大大节省了面积，降低了ir。我们使用SPICE模拟来提取网格电阻，作为我们技术定位过程的一部分，基于一个高级片上PDN模型。我们还使用商业可用的EDA工具链验证了我们的发现。

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Bharani Chava Khaja Ahmad Shaik,安妮·若丹Sofiane Guissi, Pieter Weckx,朱利安Ryckaert,基尔特•范德也,塞Spessot,埃里克·Beyne和安达Mocuta”背后的权力交付作为将来系统的扩展旋钮”,Proc。相比10962年,Design-Process-Technology开的工艺性十三,1096205(2019年3月20日);

https://doi.org/10.1117/12.2514942