白皮书:评估MEMS器件虚拟计量与驱动

本文探讨了Coventor强大的SEMulator3D半导体工艺建模平台的功能。在这篇详细的报告中，MEMS器件的虚拟计量和基于DRIE的结构的虚拟制造进行了论证。一个射频可调谐电容器，类似于使用梳状驱动静电驱动的旋转位移陀螺仪，被用来演示虚拟制造。虚拟计量测量也为该设备提取。可调电容建模练习演示了该平台在预测设计技术建模和虚拟测量数据提取方面的能力。