白皮书:行后结束(BEOL)金属化

用于后端线(BEOL)金属化的物理气相沉积(PVD)已经在16纳米(nm)技术节点上达到了极限。扩大PVD用于金属衬垫和屏障种子沉积，迫使该过程进入一个狭窄的窗口，必须在生产引入之前进行表征。此外，了解衬线对沟槽和通过蚀刻剖面的依赖有助于确定工艺要求，以最大化工艺窗口。正确定义过程窗口所需的破坏性表征对分析资源提出了严峻的挑战。虚拟制造与三维过程建模平台可以克服这一障碍。通过假设的M1-V1-M2 BEOL通链来展示SEMulator3D平台在预测设计技术建模、变化分析和定量数据提取方面的能力价值。