白皮书:3D NAND Flash处理

Coventor强大的SEMulator3D半导体流程建模平台为尖端3D NAND Flash技术的开发提供了广泛的技术开发能力。3D NAND保证高存储单元密度，减少数据损坏，但也带来了处理挑战。使用3D NAND的设备的结构复杂性和固有的3D特性需要一个预测性的3D建模平台来进行关键分析。不同模块之间的相互作用以及在这样的结构中理解缺陷演化变得越来越困难。由于其行业领先的预测建模性能和准确性，SEMulator3D最适合这项工作。本文综述了如何使用虚拟制造技术与SEMulator3D, 3D NAND Flash的问题可以提前预期，减少开发时间和节省硅运行。