SEMulator3D^®

从输入设计数据开始，SEMulator3D遵循集成的工艺流程描述，创建在fab中创建的复杂3D结构的虚拟等效物。

软件评估

设计(GDSII /绿洲)

+

流程流

根据设计和工艺数据预测三维集成结构

CMOS-Devices-In-Circle

互补金属氧化物半导体设备

3 d-nand-flash-in-circle

MEMS-loT-Devices-In-Circle

MEMS /很多设备

xinyabo体育

快速、健壮的、准确的

SEMulator3D的流程预测能力使半导体供应链的所有参与者受益，从技术开发人员到无晶圆厂IP供应商，再到设备和流程供应商。

预测流程建模

预测设计和集成流程流之间的复杂交互。在制造前识别工艺问题。

执行变化实验

有效开发工艺流程，并进行实际生产中不可行的自动化虚拟实验

灵活和健壮

灵活的多用例&适用于任何过程和任何布局，无论复杂性或技术。

每个阶段都有价值

在技术发展的每个阶段利用虚拟制造。减少昂贵、耗时的硅学习周期

了解如何SEMulator3D可以帮助您解决先进半导体制造和减少硅学习周期的挑战。看看我们的案例研究。

SEMulator3D用例

软件能力突出

SEMulator3D^®是一个强大的3D半导体和MEMS过程建模平台，提供广泛的技术开发能力。基于高效的物理驱动体素建模技术，SEMulator3D具有对完整流程建模的独特能力。

核心流程建模

使用独特的物理驱动3D建模技术，SEMulator3D建模引擎可以对各种单元流程步骤建模。每个工艺步骤只需要几个易于理解和校准的几何和物理输入参数。就像在实际的fab中一样，上游单元的工艺参数(如沉积一致性、蚀刻各向异性、选择性等)相互作用，以复杂的方式设计数据，从而影响最终的器件结构。

亚博网址多少

先进的流程建模

要正确预测完整过程流程的最终结果，必须准确地建模每个过程步骤。Semulator3D高级过程建模在标准库中增加了附加的流程步骤，例如MultiqtectCh和选择性外延。这些步骤提供了更准确的等离子体（干）蚀刻，选择性外延生长的建模。

亚博网址多少

自动化

SEMulator3D Automation是一个电子表格驱动的自动化引擎，支持大规模并行过程变化研究。通过自动构建具有特定工艺参数变化的一系列SEMulator3D模型，SEMulator3D自动化能够对工艺公差、产量或交叉晶圆均匀性进行虚拟研究。

亚博网址多少

分析

SEMulator3D Analytics模块可以直接在SEMulator3D内自动对过程变化进行统计分析。新的Analytics用户界面指导用户使用各种技术(包括蒙特卡罗过程变化)设计、执行和分析大型统计实验。自动多元回归被用来识别重要的参数，并根据它们对过程变化的影响对它们进行排序。

亚博网址多少

设备分析

作为电气分析模块的一部分，设备分析功能可以提取晶体管的电气特性，并在Semulator3D中直接探讨设备性能的晶体管工艺变化。

亚博网址多少

电分析

电气分析模块增加了强大的电阻和电容提取，以加深对过程和设计敏感性的理解。电气分析模块可以在Semulator3D中直接计算导体网和网的电容，为3D建模和电气功能验证提供单一平台。

亚博网址多少

可视化

SEMulator3D Viewer显示了虚拟设备模型在过程中的每一步的3D渲染。逐步可视化可以帮助理解过程失效模式和其他复杂的过程现象。横切和尺寸测量可以在3D模型的任何地方进行。SEMulator3D Viewer有许多高级功能，包括自动动画的过程步骤和自动导出到Microsoft PowerPoint。

亚博网址多少

和更多…

网格生成导出到标准网格格式
一套完整的布局查看和编辑工具
通过完整的Python脚本API进行定制
一个新的流程建模功能库，用Python编写
流程技术文件示例