参数化设计的条目:

为您最先进的MEMS产品直观和灵活的设计选项

MEMS设计是固有地依赖于工艺和立体感,所以MEMS +包括一个直观的,3D用户界面,使设计进入容易和快速。

软件评估
3dmems建模

一体式设计,多种模拟选项

每一个MEMS +设计有多个模拟环境,包括内置的兼容MEMS +模拟器,随着MATLAB®,Simulink.®和Cadence的Virtuoso®环境。

CoventorMP-Parmetic-设计入门

MEMS +设计出的材料和工艺的描述信息的条目所提出的设计过程开始。布局数据可以直接输入MEMS +或导入到MEMS +使用GDS2格式文件。IC布局艺术品,包括定制的形状和几何形状,可以导入到MEMS +许多3rd.党的设计工具。使用布局数据,与材料和工艺的描述一起MEMS +可以生成一个MEMS装置的三维示意图。

主要特点

  • 3-d设计输入是依赖于制造过程中
  • 内置,参数数据库材料和工艺说明
  • 材料数据、过程文件和Innovator原理图存储在使用标准XML格式的单独文本文件中
  • 图形变量定义和曝光
  • 机械边界条件和电口易于安装
  • 交互,图形设计入口,和
  • Python脚本接口允许脚本设计入门
  • 可导入GDSII或3D ACIS SAT文件到Innovator中进行比较MEMS.+模型
  • 标准输出滤波器包括GDSII布局和ACIS SAT 3D实体模型

流程感知

虽然MEMS和IC设计共享与制造相关的方面,但它们在制造对其设计流程的影响上是不同的。IC组件在制造过程中是标准化的,而MEMS组件则不是。例如,一个晶体管(集成电路组件)是在制造过程中由沉积在硅衬底上的特定层产生的,而这些层不能被集成电路设计者改变;但作为MEMS设计一部分的机械悬吊梁可以放置在几个“机械”层中的任何一个,而这一层是一个设计选择。

另外,通常有必要裁缝制造工艺到特定MEMS装置,以实现该设备的设计目标。因此,制造过程是在MEMS设计的一个重要的“自由参数”可以被改变开发的进展。可以灵活地改变制造工艺所需的MEMS设计的描述,但是从常规的IC设计环境中丢失。

MEMS.材质编辑器和流程编辑器:+环境通过提供用于指定所有过程特定的数据的两个集成编辑地址的MEMS设计者的具体需要。

MEMS工艺编辑器

链接过程和函数库组件

库中的组件之间的关系MEMS +“创新”(参数组件设计区)和制造数据使用的公共层属性包括在内。与此层属性,设计者可以建立一个部件结构和更多层名称之一之间的关系。

mems-layer-assignment

MEMS参数化设计的好处是什么?

在里面MEMS +“Innovator”选项卡,设计人员可以从MEMS部件库包括在他们的设计。这些参数的组件就像基于MEMS技术的“积木”。用户通过参数化的部件组合成一个较大的组件装配在创新的设计。这是有点类似于创建通过插入预先定义的参数布局细胞到布局的IC布局。主要的区别betweeenMEMS +而IC设计则是MEMS +设计是在3 d环境中进行。这种3D设计是MEMS设计,谁是用来在3D CAD环境中工作的更自然。

与3D CAD环境中,存在与每个相关联的复杂行为模型MEMS +成分。这些组件模型中的每一个也可以通过向导自动连接。用户可以控制哪些参数以及电气和机械的“销”的模拟期间在模型中露出。Users can also define a hierarchy of symbolic variable names and use those names in place of literal values, or combine them in algebraic expressions, to define any material property, any process parameter (e.g. layer thickness), or any component parameter (e.g. width of a suspension). A combination of variables and algebraic equations allows for properties to be mutually dependent on other properties, upon environmental variables (e.g. temperature and pressure) or even based upon abstract variables such as the equipment settings for a given fabrication process. This flexibility enables development of highly complex behavioral models, without the time and expense of custom-built MEMS model development.

最重要的是,MEMS.+车型完全参数化。这些先进的参数化设计的特点,再加上极快的仿真时间,提供能够快速,准确地开拓了广阔的设计空间。这种能力使用常规的有限元建模技术,由于过度仿真时间的要求是不可用的。

参数化组件库
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