PZR传感器的压电抗性（PZR）

PZR传感器仿真变得简单

用于机械信号的许多固态传感器基于压阻效果，其中压阻材料的电阻率发生在机械应力上的电阻率，用于测量物理量，例如压力，力和加速度

CoventorWare提供了一种用于模拟压阻性（PZR）传感器的独特方法，利用压阻效应对传感器输出的压阻效果的优势。使用Coventorware的机械求解器预先计算应力场，并映射到压电传感器的几何形状上。该方法允许更有效的网格，并稍后更新压力场内的压电传感器的位置和方向，而不需要重新形成或再次执行模拟。

然后，CoventorWare的MEMPZR模块采用预先计算的应力场，具有用户指定的电气和压阻性系数，以计算电场（以及电流的最终变化），因为它们受到压力和温度的影响。独特的2ⁿ可以包括订单压阻系数，以捕获在某些类压力传感器中具有重要意义的非线性压阻性行为。

图形显示施加压力下的隔膜变形，具有绘图压力田间和砖网映射在隔膜上。为清楚起见，在图形中未示出高掺杂的轨道和薄膜钝化层（如果需要，这些可以包括在内）。