CoventorWare产品概述
了解CoventorWare如何帮助您建模和模拟广泛的MEMS设备。进入我们的MEMS解决方案页面!
BEM/FEM混合耦合机电
CoventorWare在精确模拟静电电容和力,以及非线性耦合的电力学效应方面得到广泛认可,如拉入、抬升和静电弹簧软化。CoventorWare采用了一种混合的有限元/边界元(FEM/BEM)方法,避免了对准确性和效率的妥协。
压电电阻(PZR)用于PZR传感器
CoventorWare为模拟压阻(PZR)传感器提供了一种独特的方法,利用了压阻效应对传感器输出形状变化的主导作用。应力场使用CoventorWare的机械求解器预先计算,并映射到压电传感器的几何形状上。
致动器和辐射热计的电热机械物理
CoventorWare是设计微辐射热计的理想环境,模拟传感器的完整操作需要分析多个耦合的物理域,包括热、机械和电域。它为分析这类问题提供了一个完全耦合的热电程序,并使用了非常适合建模这种类型器件的常见薄膜的有限元素。
位移应力和动态分析的MEMS力学
在MEMS制造过程中,沉积和蚀刻过程中的热循环会在沉积层中产生应力。CoventorWare使MEMS设计者能够通过在复杂几何结构(包括保形沉积)中建模各向同性、各向异性和应力梯度,预测残余应力的3D影响。