CoventorWare®

CoventorWare是一套集成了预处理和后处理工具的现场求解器。该套件具有许多MEMS特定的特性,使其成为模拟MEMS和其他微制造器件的通用有限元工具的首选。

软件评估
CoventorWare-How-It-Works

CoventorWare产品概述

CoventorWare是一套集成的设计和仿真软件,具有解决现实世界MEMS设计的准确性、容量和速度。该套件具有许多MEMS专用功能,用于建模和模拟广泛的MEMS设备,包括惯性传感器(加速度计而且陀螺仪),麦克风谐振器,致动器.该软件的场求解器可以对mems特定的多种物理模型进行建模,如静电、耦合电力学、压电、压阻和阻尼效应。

无论是探索设计概念还是执行设备行为的详细验证,CoventorWare用户都从我们广泛的MEMS仿真经验和建模增强中受益。CoventorWare在MEMS行业内被广泛认可为多物理MEMS仿真的最佳解决方案,并为MEMS仿真的精度、容量和速度设定了标准。

陀螺模级封装上的Von miss应力轮廓(变形按2000年缩放)
加速度计的模式
IHP射频开关因残余应力和施加的驱动电压而变形
带有分支的梳状顶部电极的湿度传感器上的电荷密度

了解CoventorWare如何帮助您建模和模拟广泛的MEMS设备。进入我们的MEMS解决方案页面!

软件能力突出

使用一套FEM/BEM求解器进行详细的器件分析。2D-to-3D模型构建器、自动网格和场求解器针对MEMS结构和多物理结构进行了优化,解决了大多数类型的MEMS。

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过程驱动的设计输入

过程驱动的设计输入

CoventorWare具有许多mems特定的特性,使其易于准备有效的仿真模型。3D模型可以直接从布局或从其他工具导入,包括MEMS +

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hex-domininant-mesh

自动啮合

为了有效地对MEMS典型的高展弦比结构进行网格划分,必须使用六边形(六边形)单元而不是四面体单元。CoventorWare包括用于生成MEMS结构最优六边形优势网格的网格算法的选择。

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Hybrid_FEM_-BEM_Pull_In_Lift_Off_Harmonics

BEM/FEM混合耦合机电

CoventorWare在精确模拟静电电容和力,以及非线性耦合的电力学效应方面得到广泛认可,如拉入、抬升和静电弹簧软化。CoventorWare采用了一种混合的有限元/边界元(FEM/BEM)方法,避免了对准确性和效率的妥协。

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阻尼机制

无论是模拟加速度计的瞬态响应,还是估计谐振器的Q因子,正确地建模阻尼都是至关重要的。通过CoventorWare,可以模拟能量损失机制并准确预测阻尼系数。

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PZR_StressYY

压电电阻(PZR)用于PZR传感器

CoventorWare为模拟压阻(PZR)传感器提供了一种独特的方法,利用了压阻效应对传感器输出形状变化的主导作用。应力场使用CoventorWare的机械求解器预先计算,并映射到压电传感器的几何形状上。

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电热物理

致动器和辐射热计的电热机械物理

CoventorWare是设计微辐射热计的理想环境,模拟传感器的完整操作需要分析多个耦合的物理域,包括热、机械和电域。它为分析这类问题提供了一个完全耦合的热电程序,并使用了非常适合建模这种类型器件的常见薄膜的有限元素。

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开关模型

位移应力和动态分析的MEMS力学

在MEMS制造过程中,沉积和蚀刻过程中的热循环会在沉积层中产生应力。CoventorWare使MEMS设计者能够通过在复杂几何结构(包括保形沉积)中建模各向同性、各向异性和应力梯度,预测残余应力的3D影响。

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在PZE谐振腔(FBAR, LVR等)中模拟高频体模

声学谐振器或传感与驱动的PZE耦合物理

CoventorWare将压电和机械物理相结合,以准确预测设备的频率响应,如声学谐振器,或采用压电物理进行传感和驱动的设备,如能量收集器。

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