白皮书:提高3D NAND闪存密度的创新解决方案

在过去的10年里，3D NAND闪存使新一代非易失性固态存储成为可能，几乎适用于所有可以想象到的电子设备。由于3D集成相对容易，即使在下一代技术节点上制作，3D NAND也可以实现超过2D NAND结构的数据密度。3D NAND结构包含垂直通道，垂直通道正交穿过交替堆叠的导体/绝缘体结构。单词行通过楼梯状结构单独访问。本白皮书将讨论3D NAND结构的工作原理和制造工艺挑战，以及提高3D NAND设备数据密度的技术。